酸素センサ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：伊東忠重 , 伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-195724
公開番号（公開出願番号）：特開2016-065827
出願日： 2014年09月25日
公開日（公表日）： 2016年04月28日
要約：

【課題】可燃性の干渉ガスの影響を抑制して、微量酸素濃度を測定することが可能な酸素センサを提供する。【解決手段】酸素センサ10は、基板11上に、櫛型電極12、酸化物半導体膜13、絶縁膜14及び触媒膜15が順次積層されており、触媒膜14は、貴金属粒子が担持されている金属酸化物粒子を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に、電極、酸化物半導体膜、絶縁膜及び触媒膜が順次積層されており、前記触媒膜は、貴金属粒子が担持されている金属酸化物粒子を含むことを特徴とする酸素センサ。

IPC (1件)：

G01N 27/12

FI (1件)：

G01N27/12 B

Fターム (8件)：

2G046AA07 , 2G046BA01 , 2G046BB02 , 2G046BE03 , 2G046FB02 , 2G046FE29 , 2G046FE31 , 2G046FE49

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭56-162041
特開昭56-064652
特開昭53-146696

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