レーザー加工装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：松本昂 , 大上寛
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-088102
公開番号（公開出願番号）：特開2013-215769
特許番号：特許第6004711号
出願日： 2012年04月09日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】レーザー加工装置であって、被加工物を保持する保持手段と、レーザー発振器と加工ヘッドとから少なくともなり、該保持手段で保持された被加工物にレーザービームを照射するレーザービーム照射手段と、を備え、該加工ヘッドは、該レーザー発振器から発振されたレーザービームを集光する集光レンズと、被加工物に液体を噴射して該集光レンズで集光された該レーザービームが導光される液柱を形成する液体噴射手段と、該液体噴射手段で形成された該液柱が通過するパイプと、該液柱を囲繞して該液柱を整流化する気体を該パイプ内に流入させる気体流入路と、該気体流入路を流動する気体の異常を該液柱の異常として検出する液柱異常検出手段と、を備えたレーザー加工装置。

IPC (3件)：