特許
J-GLOBAL ID：201603016933080328
積層発熱体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
名古屋国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-013341
公開番号（公開出願番号）：特開2016-139503
出願日： 2015年01月27日
公開日（公表日）： 2016年08月04日
要約：
【課題】給電経路における発熱抑制できる積層発熱体を提供すること。【解決手段】セラミック基板(3)と、電極(4)と、ヒーター(5、7)と、端子(11、13、15、17)と、給電経路(19)とを備えた積層発熱体(1)であって、給電経路を構成するスルービアには、以下の条件(1)及び(2)を充足するスルービアα、β、γ、及びδの組み合わせが少なくとも1つ存在することを特徴とする積層発熱体。条件(1):セラミック基板を表面(3a)側から裏面(3b)側に向って見たとき、スルービアδは、スルービアβと重なる位置又はその近傍にある。条件(2):セラミック基板を表面側から裏面側に向って見たとき、スルービアγの位置は、スルービアαとスルービアδとの間の位置、又はスルービアαと重なる位置若しくはその近傍にある。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
表面及び裏面を有し、前記表面に被処理物を支持するセラミック基板と、
前記セラミック基板に設けられ、前記被処理物を吸着するための電極と、
前記セラミック基板に設けられ、前記被処理物を加熱するためのヒーターと、
前記セラミック基板における前記裏面側の一端に取り付けられた端子と、
前記端子から前記ヒーターに給電する給電経路と、を備えた積層発熱体であって、
前記給電経路は、前記セラミック基板内に設けられた複数の導電層及び複数のスルービアを組み合わせて成るものであり、
前記複数のスルービアには、以下で定義するスルービアα、スルービアβ、スルービアγ、及びスルービアδが含まれ、
以下の条件(1)及び(2)を充足するスルービアα、スルービアβ、スルービアγ、及びスルービアδの組み合わせが少なくとも1つ存在することを特徴とする積層発熱体。
スルービアα:前記ヒーターと、前記導電層の1つである導電層Xとを接続するスルービア。
スルービアβ、及びスルービアγ:前記導電層の1つである導電層Yと、前記導電層Xとを接続するスルービア。
スルービアδ:前記導電層の1つである導電層Z又は前記端子と、前記導電層Yとを接続するスルービア。
条件(1):前記セラミック基板を前記表面側から前記裏面側に向って見たとき、前記スルービアδは、前記スルービアβと重なる位置又はその近傍にある。
条件(2):前記セラミック基板を前記表面側から前記裏面側に向って見たとき、前記スルービアγの位置は、前記スルービアαと前記スルービアδとの間の位置、又は前記スルービアαと重なる位置若しくはその近傍にある。
IPC (4件)：
H05B 3/68
, H05B 3/20
, H01L 21/683
, H05B 3/02
H05B3/68
, H05B3/20 328
, H01L21/68 R
, H05B3/02 B
3K034BB06
, 3K034BB14
, 3K034BC17
, 3K034CA11
, 3K034JA02
, 3K034JA10
, 3K092PP09
, 3K092RF03
, 3K092RF11
, 3K092RF27
, 3K092VV22
, 5F131AA02
, 5F131BA19
, 5F131CA03
, 5F131EB14
, 5F131EB78
, 5F131EB79
, 5F131EB81
