特許
J-GLOBAL ID：201403079060145467
積層発熱体、静電チャック、及びセラミックヒータ
出願人/特許権者：
日本特殊陶業株式会社
日本特殊陶業株式会社 について
代理人 (1件)： 名古屋国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-223130
公開番号（公開出願番号）：特開2014-075525
出願日： 2012年10月05日
公開日（公表日）： 2014年04月24日
要約：
【課題】表面における温度のばらつきを低減できる積層発熱体、静電チャック、及びセラミックヒータを提供する。【解決手段】セラミックから成る層を複数積層した本体部3と、本体部3に内蔵されたヒータ5、7と、本体部3の厚み方向の一端に取付けられた端子11、13、15、17と、前記端子からヒータ5、7に給電する給電経路19,21,23,25,27とを備え、前記給電経路は、本体部3内に設けられた複数の導電層X,Y及び複数のスルービアα、β、γを組合わせて成り、複数のスルービアα、β、γには、以下で定義するスルービアα、β、γが含まれ、スルービアαは、スルービアβとスルービアγとの間、又は、スルービアβ若しくはスルービアγと重なる位置にある積層発熱体1。スルービアα:ヒータ5、7に隣接する導電層Xとヒータ5、7とを接続するスルービア。スルービアβ及びスルービアγ:導電層Yと導電層Xとを接続するスルービア。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
セラミックから成る層を複数積層した本体部と、
前記本体部に内蔵されたヒータと、
前記本体部における厚み方向の一端に取り付けられた端子と、
前記端子から前記ヒータに給電する給電経路と、を備え、
前記給電経路は、前記本体部内に設けられた複数の導電層及び複数のスルービアを組み合わせて成るものであり、
前記複数のスルービアには、以下で定義するスルービアα、スルービアβ、及びスルービアγが含まれ、
前記本体部を前記厚み方向から見たとき、前記スルービアαは、前記スルービアβと前記スルービアγとの間の位置、又は、前記スルービアβ若しくは前記スルービアγと重なる位置にあることを特徴とする積層発熱体。
スルービアα:前記複数の導電層のうち、前記ヒータに隣接する導電層Xと前記ヒータとを接続するスルービア。
スルービアβ、及びスルービアγ:前記複数の導電層のうち、前記端子側において前記導電層Xに隣接する導電層Yと前記導電層Xとを接続するスルービア。
IPC (4件)：
FI (4件)：
Fターム (15件)：
3K034BB06
, 3K034HA10
, 3K034JA04
, 3K092PP09
, 3K092RF03
, 3K092RF11
, 3K092VV22
, 5F131AA02
, 5F131CA68
, 5F131EB14
, 5F131EB17
, 5F131EB22
, 5F131EB78
, 5F131EB79
, 5F131EB81
引用特許：
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