特許
J-GLOBAL ID：201603016943557068
マグネトロンスパッタリング用磁場発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高石 橘馬
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-556338
特許番号：特許第5971262号
出願日： 2013年01月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ターゲットに対向し、ターゲット表面に磁場を発生させるための、直線部及びコーナー部からなるレーストラック形状のマグネトロンスパッタリング用磁場発生装置であって、
非磁性体からなるベース上に、(a)棒状の中央磁極部材と、(b)前記中央磁極部材を取り囲むように設置された外周磁極部材と、(c)前記中央磁極部材と前記外周磁極部材との間に、一方の磁極が前記中央磁極部材に対向し、他方の磁極が前記外周磁極部材に対向するように設置された複数の永久磁石とを有し、
前記直線部に設置された複数の永久磁石は、前記ターゲット表面に垂直な方向の厚さが磁化方向の中央部において両端部よりも薄い、少なくとも1つの磁場調節用永久磁石を含み、
前記磁場調節用永久磁石は、前記ターゲット側の面及び/又は前記ベース側の面に、前記中央部の領域に対応する凹状部を有し、
前記凹状部に磁性体が配置されていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用磁場発生装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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