特許
J-GLOBAL ID：200903007783865920

マグネトロンスパッタリング用磁気回路

発明者：
栗山 義彦

栗山 義彦 について


出願人/特許権者：
NEOMAX機工株式会社

NEOMAX機工株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-349496
公開番号（公開出願番号）：特開2008-156735
出願日： 2006年12月26日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：
【課題】 従来よりも低コストでかつ小型・軽量なマグネトロンスパッタリング装置用磁気回路を提供する。【解決手段】 非磁性体からなるベース2と、その表面に設置された長方形状の中央磁極片3と、その周囲に設けられた長円形状の外周磁極片4と、中央磁極片3と外周磁極片4との間の長方形状空間に長手方向に沿って連接された複数の直線部用永久磁石5a、5bと、中央磁極片3と外周磁極片4との間の円弧状空間に設置された複数のコーナー部用永久磁石6a、6bとを有し、直線部用永久磁石5a、5b及びコーナー部用永久磁石6a、6bは水平方向に磁化されかつ同極性の磁極が中央磁極片3に対向するように配置されているとともに、中央磁極片3及び外周磁極片の高さは直線部用永久磁石5a、5b及びコーナー部用永久磁石6a、6bの高さ以上に形成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
非磁性体からなるベースと、その表面に設置された長方形状の中央磁極片と、その周囲に設けられた長円形状の外周磁極片と、前記中央磁極片と前記外周磁極片との間の長方形状空間に長手方向に沿って連設された複数の直線部用永久磁石と、前記中央磁極片と前記外周磁極片との間の円弧状空間に設置された複数のコーナー部用永久磁石とを有し、前記直線部用永久磁石及び前記コーナー部用永久磁石は水平方向に磁化されかつ同極性の磁極が前記中央磁極片に対向するように配置されているとともに、前記中央磁極片及び前記外周磁極片の高さは前記直線部用永久磁石及び前記コーナー部用永久磁石の高さ以上に形成されていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用磁気回路。
IPC (1件)：
C23C 14/35
FI (1件)：
C23C14/35 C
Fターム (4件)：
4K029CA05 ,  4K029DC39 ,  4K029DC42 ,  4K029DC43
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)

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