特許
J-GLOBAL ID：201603017209282640
非加圧のオゾン化脱イオン水(DI03)の再循環及び回収システム並びに方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
恩田 誠
, 恩田 博宣
, 本田 淳
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-541833
公開番号（公開出願番号）：特表2016-503340
出願日： 2013年11月04日
公開日（公表日）： 2016年02月04日
要約：
本発明は、一面において、オゾン化液体の再循環のためのシステムを提供する。システムは、少なくとも2つの入口と少なくとも2つの出口とを有するコンタクタを有する。コンタクタは、第1コンタクタ入口を介して第1液源に流体的に連通しており、第2コンタクタ入口を介して第2液源に流体的に連通している。第2コンタクタ入口はガスを受け取り、該ガスは、第1コンタクタ入口において受け取られる液体からガスの少なくとも一部を取り除く。取り除かれるガスは、第1コンタクタ出口からコンタクタを出る。コンタクタは第2コンタクタ出口を介して第2液源に流体的に連通し、コンタクタはコンタクタ内の液体の少なくとも一部を排出する。排出される液体は、第2コンタクタ出口からコンタクタを出る。コンタクタは第1液源に流体的に連通する第3入口を有し、第3入口は第1液源に周囲圧力で液体を放出させる。
請求項（抜粋）：
オゾン化液体の再循環用のシステムであって、該システムは、
少なくとも2つの入口と少なくとも2つの出口とを有するコンタクタであって、第1コンタクタ入口において第1液源と、及び第2コンタクタ入口において第2液源と流体的に連通しており、該第2コンタクタ入口はガスを受け取り、該ガスは第1コンタクタ入口において受け取られる液体からガスの少なくとも一部を取り除き、取り除かれるガスは第1コンタクタ出口において前記コンタクタから出される、コンタクタを含み、
前記コンタクタは第2コンタクタ出口において前記第2液源と流体的に連通しており、前記コンタクタの中の液体の少なくとも一部を排出し、排出される液体は前記第2コンタクタ出口において前記コンタクタから出され、
前記コンタクタは前記第1液源と流体的に連通する第3入口を有し、該第3入口は前記第1液源に周囲圧力で液体を放出させる、
システム。
IPC (3件)：
C02F 1/00
, H01L 21/304
, C02F 1/20
C02F1/00 J
, H01L21/304 648F
, C02F1/20 A
4D037AA08
, 4D037AB11
, 4D037BA23
, 5F157BD33
, 5F157BD54
, 5F157CF14
, 5F157CF36
, 5F157CF42
, 5F157DC86
