特許

J-GLOBAL ID：201603017275795713

トリメチルシランの精製方法

発明者： 手島 卓也 ,  柴山 茂朗 ,  中村 陽介 ,  平岡 知之
出願人/特許権者： セントラル硝子株式会社
代理人 (1件)： 西 義之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-034668
公開番号（公開出願番号）：特開2013-170139
特許番号：特許第5861491号
出願日： 2012年02月21日
公開日（公表日）： 2013年09月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】(1)少なくとも酸化銅(II)及び酸化亜鉛を添着させた活性炭を準備する工程、 (2)不活性ガス:トリメチルシラン=0.5:1〜100:1の容量比になるように、不活性ガスで希釈したトリメチルシランを前記活性炭に吸着させる工程、 (3)シラン、メチルシラン、又はジメチルシランを不純物として含むトリメチルシランを前記(2)の工程を終了した活性炭に接触させ、該不純物を吸着させてトリメチルシランから除去する工程、 からなるトリメチルシランの精製方法。

IPC (2件)：

C07F 7/20 ( 200 6.01) ,  C07F 7/08 ( 200 6.01)

FI (2件)：

C07F 7/20 ,  C07F 7/08 B

引用特許：

審査官引用 (1件)

• トリメチルシランの精製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-305306   出願人：セントラル硝子株式会社