静電チャックおよびその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-211464
公開番号（公開出願番号）：特開2014-067834
特許番号：特許第6014439号
出願日： 2012年09月25日
公開日（公表日）： 2014年04月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ウエハを支持するための支持面を有するセラミックス焼結体と、前記セラミックス焼結体に埋設されている静電チャック電極と、を備え、前記セラミックス焼結体において、前記静電チャック電極を基準として前記支持面の側に存在する第1領域よりもセラミックス粒子の平均粒子径が大きい第2領域が、前記静電チャック電極を基準として前記支持面の反対側に存在し、前記第1領域および前記第2領域が同一種類のセラミックスにより構成されていることを特徴とする静電チャック。

IPC (2件)：