特許

J-GLOBAL ID：201603017776900010

試料観察装置

発明者： 土肥 歩未 ,  船越 知弘 ,  山本 琢磨 ,  田盛 友浩 ,  堺 恒弘
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (3件)： 平木 祐輔 ,  関谷 三男 ,  渡辺 敏章
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-027894
公開番号（公開出願番号）：特開2014-157726
特許番号：特許第5965851号
出願日： 2013年02月15日
公開日（公表日）： 2014年08月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 凹部である被観察対象部を含む試料に、第1の加速電圧によって荷電粒子線を照射する荷電粒子光学カラムと、 前記荷電粒子線の照射によって得られる信号から前記被観察対象部を含む画像を取得する画像取得部と、 標準試料における凹部と当該凹部の周辺部との明るさ比と、前記標準試料における前記凹部の構造を表す値との関係を示す情報を、複数の加速電圧ごとに予め記憶する記憶部と、 前記画像における前記凹部と前記凹部の周辺部との明るさ比を求める演算部と、 を備え、 前記演算部は、前記関係を示す情報と前記画像における前記明るさ比とを用いて、前記第1の加速電圧の適否を判定することを特徴とする試料観察装置。

IPC (2件)：

H01J 37/22 ( 200 6.01) ,  H01J 37/28 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01J 37/22 502 H ,  H01J 37/28 B ,  H01J 37/22 502 F

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 試料高さ測定方法及び試料高さ測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-014876   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ