特許

J-GLOBAL ID：201603018118248586

X線応力測定方法

発明者： 佐々木 敏彦
出願人/特許権者： 国立大学法人金沢大学
代理人 (8件)： 高島 一 ,  土井 京子 ,  鎌田 光宜 ,  田村 弥栄子 ,  山本 健二 ,  村田 美由紀 ,  小池 順造 ,  當麻 博文
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-150939
公開番号（公開出願番号）：特開2014-013203
特許番号：特許第6011846号
出願日： 2012年07月04日
公開日（公表日）： 2014年01月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 被検物にX線を照射して得られる回折環に基いて被検物内に存在する応力を測定するX線応力測定方法であって、 前記被検物は、溝の底面であり、 被検物表面の測定点において直交するxy座標を被検物表面に規定し、かつ、該xy座標のx軸の方向を、前記溝の長手方向に一致するように規定し、かつ該測定点における該被検物表面の法線をz軸と規定して、該測定点に対して、下記(I)で規定される垂直入射方向と1つの斜め入射方向にてX線を照射し、それぞれに回折環を得、 垂直入射方向の回折環からは、剪断応力τxz、τyzを得、 斜め入射方向の回折環からは、剪断応力τxy、および、〔x軸方向、z軸方向の応力の関係式(σx-σz)〕、および、〔y軸方向、z軸方向の応力の関係式(σy-σz)〕を得、 以上によって得られた剪断応力および応力の関係式からz軸方向の応力σzを求め、これらをもって、6個の3軸応力成分σx、σy、σz、τxy、τyz、τxzを得ることを特徴とする、X線応力測定方法。 (I)測定点における被検物表面の法線に沿って測定点へ向かう垂直入射方向と、該法線から所定の入射角度Ψ0だけ傾いて測定点へ向かう1つの斜め入射方向であって、該斜め入射方向は、被検物表面に投影したときに、その投影がxy座標のx軸に一致する方向である、前記垂直入射方向と斜め入射方向。

IPC (4件)：

G01L 1/25 ( 200 6.01) ,  G01L 1/00 ( 200 6.01) ,  G01L 5/16 ( 200 6.01) ,  G01N 23/205 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G01L 1/25 ,  G01L 1/00 A ,  G01L 5/16 ,  G01N 23/205 310

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特許第5339253号
  
• 特許第4276106号
  

審査官引用 (1件)

• X線応力測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-173619   出願人：国立大学法人金沢大学