紫外光照射装置及び紫外光照射処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：原田正樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-161738
公開番号（公開出願番号）：特開2016-039257
出願日： 2014年08月07日
公開日（公表日）： 2016年03月22日
要約：

【課題】比較的低い消費電力で駆動する光源を用いて被処理物のUVキュアを実現することが可能な紫外光照射装置を提供する。特に、波長190nm以下のUV照射を少なくすることが可能な装置を提供する。【解決手段】紫外光を放射するランプと、このランプを内部に備え、光取出し部が設けられたランプハウスと、前記光取出し部に配置された紫外光透過性を有する第1の窓部材と、前記第1の窓部材の外側においてこれと所定空間離間して配置された紫外光透過性を有する第2の窓部材とを有する。ランプは、放電ガスが充填された紫外光透過性の発光管と、放電ガスの発光で放射された真空紫外領域の紫外光を励起光として波長190nm以上の紫外光を放射する蛍光体を備えた蛍光ランプであり、前記第1の窓部材と第2の窓部材の間に、真空紫外光吸収性のガスを含む空間を備えていることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

紫外光を放射するランプと、前記ランプを内部に備え、光取出し部が設けられたランプハウスと、前記光取出し部に配置された紫外光透過性を有する第1の窓部材と、前記第1の窓部材の外側に、当該第1の窓部材と所定空間離間して配置された紫外光透過性を有する第2の窓部材とを有し、前記ランプは、放電ガスが充填された紫外光透過性の発光管と、放電ガスの発光で放射された真空紫外領域の光を励起光として波長190nm以上の紫外光を放射する蛍光体を備えた蛍光ランプであり、前記第1の窓部材と第2の窓部材の間に、真空紫外光吸収性のガスを含む空間を備えていることを特徴とする紫外光照射装置。

IPC (4件)：

H01L 21/31 , H01J 65/00 , H01L 21/316 , H01L 21/312

FI (4件)：

H01L21/31 A , H01J65/00 B , H01L21/316 P , H01L21/312 D

Fターム (6件)：

5F045AB31 , 5F045AB39 , 5F045EK19 , 5F045HA18 , 5F058AG09 , 5F058BH17

引用特許：

審査官引用 (4件)

蛍光ランプ
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-206458 出願人：ウシオ電機株式会社
特開昭61-056280
特開平4-048720

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