特許
J-GLOBAL ID：201603018360278473
アーク式蒸発源
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
安田 敏雄
, 安田 幹雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-139078
公開番号（公開出願番号）：特開2014-001440
特許番号：特許第5946337号
出願日： 2012年06月20日
公開日（公表日）： 2014年01月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ターゲットと、リング状の磁場誘導磁石と、背面磁場発生源と、を備えたアーク式蒸発源において、
前記磁場誘導磁石は、前記ターゲットの蒸発面と直交する方向に沿うと共に前方又は後方を向く磁化方向となる極性を有し、
前記背面磁場発生源は、前記ターゲットの背面側であって前記磁場誘導磁石の後方に配置されると共に、前記磁場誘導磁石の磁化方向に沿って磁力線を形成し、
前記ターゲットは、前記蒸発面が前記磁場誘導磁石よりも前方に位置するように配置されており、
前記背面磁場発生源は、前記リング状の磁場誘導磁石の内周面が形成する孔部を前記磁場誘導磁石の磁化方向に沿って通過する磁力線を形成し、前記ターゲットは、前記蒸発面を通過する磁力線が前記リング状の磁場誘導磁石の軸心に対して平行となる又は前記軸心側に傾く位置に配置されている
ことを特徴とするアーク式蒸発源。
IPC (2件)：
C23C 14/32 ( 200 6.01)
, C23C 14/24 ( 200 6.01)
C23C 14/32 A
, C23C 14/24 F
