特許
J-GLOBAL ID：201603018497295537
プラズマ発生装置、プラズマ発生体及びプラズマ発生方法
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
小川 眞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-125850
公開番号（公開出願番号）：特開2016-004728
出願日： 2014年06月19日
公開日（公表日）： 2016年01月12日
要約：
【課題】清掃対象物の損傷を抑えつつ、その清掃対象物を確実に清掃することができるプラズマ発生装置、プラズマ発生体及びプラズマ発生方法を提供する。【解決手段】プラズマ発生装置1は、絶縁性を有し、気体が流れる管2aと、その管2a内でプラズマを発生させるための第1の電極2c及び第2の電極2dと、それらの第1の電極2c及び第2の電極2dに対し、絶縁破壊を生じさせてプラズマを発生させる第1のパルス及び発生したプラズマを維持する第2のパルスを組み合わせて印加する電圧印加部3とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
絶縁性を有し、気体が流れる管と、
前記管内に電界を生じさせるための第1の電極及び第2の電極と、
前記第1の電極及び前記第2の電極に対し、絶縁破壊を生じさせてプラズマを発生させる第1のパルス及び発生した前記プラズマを維持する第2のパルスを組み合わせて印加する電圧印加部と、
を備えることを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (3件)：
3B116AA46
, 3B116BB89
, 3B116BC01
