特許
J-GLOBAL ID:201603018497295537

プラズマ発生装置、プラズマ発生体及びプラズマ発生方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小川 眞一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-125850
公開番号(公開出願番号):特開2016-004728
出願日: 2014年06月19日
公開日(公表日): 2016年01月12日
要約:
【課題】清掃対象物の損傷を抑えつつ、その清掃対象物を確実に清掃することができるプラズマ発生装置、プラズマ発生体及びプラズマ発生方法を提供する。【解決手段】プラズマ発生装置1は、絶縁性を有し、気体が流れる管2aと、その管2a内でプラズマを発生させるための第1の電極2c及び第2の電極2dと、それらの第1の電極2c及び第2の電極2dに対し、絶縁破壊を生じさせてプラズマを発生させる第1のパルス及び発生したプラズマを維持する第2のパルスを組み合わせて印加する電圧印加部3とを備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
絶縁性を有し、気体が流れる管と、 前記管内に電界を生じさせるための第1の電極及び第2の電極と、 前記第1の電極及び前記第2の電極に対し、絶縁破壊を生じさせてプラズマを発生させる第1のパルス及び発生した前記プラズマを維持する第2のパルスを組み合わせて印加する電圧印加部と、 を備えることを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (2件):
H05H 1/24 ,  B08B 7/00
FI (2件):
H05H1/24 ,  B08B7/00
Fターム (3件):
3B116AA46 ,  3B116BB89 ,  3B116BC01

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