特許
J-GLOBAL ID：201603018520776068
組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
渡邊 喜平
, 田中 有子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-229275
公開番号（公開出願番号）：特開2014-082329
特許番号：特許第6011234号
出願日： 2012年10月16日
公開日（公表日）： 2014年05月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】(A)トリフルオロメタンスルホン酸、トリフルオロメタンスルホン酸塩及びトリフルオロメタンスルホン酸エステルから選択される少なくとも1つの成分と、
(B)100°C〜250°Cにおいて、前記成分(A)を溶解する物質と、を含有する、無機薄膜を除去するためのエッチング組成物であって、
前記物質(B)が、ホウ素及び該ホウ素と結合したハロゲンとを構造中に含むルイス酸、前記ルイス酸の塩、並びに前記ルイス酸を発生する化合物から選択されるホウ素化合物の少なくとも1つであり、
前記ホウ素化合物が、テトラフルオロホウ酸トリフェニルカルベニウム、テトラフルオロホウ酸トロピリウム、テトラフルオロホウ酸ジ-n-ブチルアンモニウム、テトラフルオロホウ酸テトラブチルアンモニウム、テトラフルオロホウ酸トリメチルオキソニウム、テトラフルオロホウ酸トリエチルオキソニウム、1-エチル-2,3-ジメチルイミダゾリウムテトラフルオロホウ酸塩、1-ブチル-1-メチルピロリジニウムテトラフルオロホウ酸塩、メチルトリフルオロホウ酸カリウム、4-ヨードフェニルトリフルオロホウ酸カリウム、(4-メチル-1-ピペラジニル)メチルトリフルオロホウ酸カリウム、トリシクロペンチルフォスフィンテトラフルオロホウ酸、三フッ化ホウ素モノエチルアミン錯体、ピリジン-3-トリフルオロホウ酸カリウム及びテトラフルオロホウ酸ニトロニウムから選択される1以上である、エッチング組成物。
IPC (2件)：
H01L 21/308 ( 200 6.01)
, H01L 21/306 ( 200 6.01)
H01L 21/308 E
, H01L 21/306 E
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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