特許

J-GLOBAL ID：201603018561132035

流動床反応器を操作する方法

発明者： ベックエッサー,ディルク
出願人/特許権者： ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 特許業務法人川口國際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-522390
公開番号（公開出願番号）：特表2016-530184
出願日： 2014年06月17日
公開日（公表日）： 2016年09月29日
要約：

本発明は、不活性ガスによる反応器および供給ガスラインのフラッシングa工程;H2による反応器および供給ガスラインのフラッシングb工程;ハロゲンシランまたはハロゲンシランを含む混合物による反応器および供給ガスラインのフラッシングc工程とを有する、流動床反応器を操作する方法に関する。

請求項（抜粋）：

不活性ガスによる反応器および流入ガスラインのパージa;H2による反応器および流入ガスラインのパージb;ハロシランまたはハロシランを含む混合物による反応器および流入ガスラインのパージcとを含む、流動床反応器を操作する方法。

IPC (2件)：

C01B 33/02 ,  B01J 8/24

FI (2件)：

C01B33/02 E ,  B01J8/24 311

Fターム (30件)：

4G070AA01 ,  4G070AB04 ,  4G070BA03 ,  4G070BB32 ,  4G070CA06 ,  4G070CA25 ,  4G070CB02 ,  4G070CB18 ,  4G070CC01 ,  4G070CC05 ,  4G070CC06 ,  4G070CC20 ,  4G070DA23 ,  4G072AA01 ,  4G072BB05 ,  4G072BB12 ,  4G072GG03 ,  4G072GG04 ,  4G072HH09 ,  4G072JJ01 ,  4G072LL01 ,  4G072LL03 ,  4G072NN01 ,  4G072NN13 ,  4G072RR01 ,  4G072RR11 ,  4G072RR15 ,  4G072RR21 ,  4G072TT19 ,  4G072UU02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 粒状ポリシリコンの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-314860   出願人：株式会社トクヤマ
• 特開昭59-083923
  
• 特開昭63-055112