特許

J-GLOBAL ID：201603018802452109

キャニスタ用チラー

発明者： キム、ジャン、ウォン ,  ソン、ウー ホ ,  ヨウ、クワン シク ,  カン、モーン チョル
出願人/特許権者： デイスター マテリアルズ、エルエルシー
代理人 (1件)： 特許業務法人浅村特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-507872
特許番号：特許第6026052号
出願日： 2013年05月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 開放上部を有するドラム形トレイと、 キャニスタを受けるために前記トレイの内壁から所定の空間をあけて前記トレイに挿入される内側ケーシングと、 前記内側ケーシングの内壁と前記キャニスタの間の空間に流す冷却水を供給する入口管と、 前記内側ケーシングから排出された冷却水を集めるために、前記内側ケーシングと前記トレイとの間に配置される排水容器と、 を含み、 前記排水容器は、前記トレイの内壁から所定の空間分離れている、キャニスタ用チラー。

IPC (2件)：

H01L 21/02 ( 200 6.01) ,  F25D 1/02 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/02 Z ,  F25D 1/02 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-158899   出願人：大日本スクリーン製造株式会社