形状測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-010979
公開番号（公開出願番号）：特開2016-136091
出願日： 2015年01月23日
公開日（公表日）： 2016年07月28日
要約：

【課題】短時間で高精度な測定を実施できる形状測定装置を提供する。【解決手段】低コヒーレンス干渉を利用した形状測定装置において、テーブル14に支持された測定対象物OをX軸方向から撮像するX軸撮像部26X、及び、Y軸方向から撮像するY軸撮像部26Yが備えられる。テーブル14に支持された測定対象物Oは、X軸撮像部26Xで撮像された画像に基づいて、自動でX軸まわりの傾きが補正され、Y軸撮像部26Yで撮像された画像に基づいて、自動でY軸まわりの傾きが補正される。また、X軸撮像部26X及びY軸撮像部26Yで撮像された画像に基づいて、測定部22が対物レンズの作動距離まで自動で移動し、測定を開始する。また、走査中は、対物レンズ48が測定対象物Oに衝突しないように、X軸撮像部26X及びY軸撮像部26Yで撮像された画像に基づいて、対物レンズ48と測定対象物Oとの間の距離が監視される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

測定対象物を支持するテーブルと、低コヒーレンス光を出射する光源と、前記光源からの光を測定光と参照光とに分割する光分割手段と、前記参照光を反射する参照光反射手段と、前記測定光を出射する対物レンズと、前記参照光反射手段で反射した前記参照光と前記測定対象物で反射した前記測定光とを合成して干渉光を生成する光合成手段と、前記干渉光の強度を検出する光検出手段と、を備えた測定部と、前記対物レンズから出射する光の光軸と平行な軸をZ軸とした場合に、前記測定部又は前記テーブルを前記Z軸に沿って移動させるZ軸移動部と、前記Z軸に直交する一つの軸をX軸とした場合に、前記測定部又は前記テーブルを前記X軸まわりにチルトさせるX軸まわりチルト部と、前記Z軸及び前記X軸に直交する軸をY軸とした場合に、前記測定部又は前記テーブルを前記Y軸まわりにチルトさせるY軸まわりチルト部と、前記テーブルに支持された前記測定対象物を前記X軸方向から撮像するX軸撮像部と、前記テーブルに支持された前記測定対象物を前記Y軸方向から撮像するY軸撮像部と、前記X軸撮像部で撮像された画像に基づいて、前記X軸まわりチルト部を制御し、前記テーブルに支持された前記測定対象物の前記X軸まわりの傾きを補正するX軸まわり傾き補正部と、前記Y軸撮像部で撮像された画像に基づいて、前記Y軸まわりチルト部を制御し、前記テーブルに支持された前記測定対象物の前記Y軸まわりの傾きを補正するY軸まわり傾き補正部と、前記X軸撮像部、及び/又は、前記Y軸撮像部で撮像された画像に基づいて、前記Z軸移動部を制御し、前記測定部又は前記テーブルを前記対物レンズの作動距離まで移動させる作動距離調整部と、前記Z軸移動部を制御し、あらかじめ設定された走査範囲で前記測定部又は前記テーブルを走査させる走査制御部と、移動する前記測定部又は前記テーブルの前記Z軸方向の位置を検出するZ軸方向位置検出部と、前記光検出手段で検出される前記干渉光の強度及び前記Z軸方向位置検出部で検出される前記測定部又は前記テーブルの前記Z軸方向の位置に基づいて、前記対物レンズから出射する光が照射された地点における前記測定対象物の表面の前記Z軸方向の位置を検出する表面位置検出部と、を備えた形状測定装置。

IPC (1件)：

G01B 11/24

FI (3件)：

G01B11/24 D , G01B11/24 K , G01B11/24 A

Fターム (50件)：

2F065AA02 , 2F065AA06 , 2F065AA19 , 2F065AA22 , 2F065AA27 , 2F065AA37 , 2F065AA53 , 2F065BB05 , 2F065BB08 , 2F065DD06 , 2F065DD09 , 2F065DD16 , 2F065EE00 , 2F065EE05 , 2F065EE11 , 2F065FF04 , 2F065FF10 , 2F065FF27 , 2F065FF52 , 2F065FF65 , 2F065FF67 , 2F065GG04 , 2F065GG22 , 2F065GG24 , 2F065HH03 , 2F065HH04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL01 , 2F065LL06 , 2F065LL12 , 2F065LL17 , 2F065LL30 , 2F065LL46 , 2F065MM03 , 2F065MM07 , 2F065NN20 , 2F065PP02 , 2F065PP05 , 2F065PP12 , 2F065PP13 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065QQ29 , 2F065SS02 , 2F065SS13 , 2F065TT02 , 2F065TT07

引用特許：

出願人引用 (7件)

物体の姿勢測定装置、姿勢測定方法、姿勢制御装置および物体表面の検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-185585 出願人：東レ株式会社
部品のボンディング方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-013730 出願人：富士写真フイルム株式会社
共焦点顕微鏡システム、画像処理方法および画像処理プログラム
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-012031 出願人：株式会社キーエンス

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