特許
J-GLOBAL ID:201603019924079847

薄膜素子用基板、薄膜素子、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、および電子ペーパー

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 山下 昭彦 ,  岸本 達人
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-047726
公開番号(公開出願番号):特開2013-182853
特許番号:特許第5970865号
出願日: 2012年03月05日
公開日(公表日): 2013年09月12日
請求項(抜粋):
【請求項1】 薄膜素子に用いられる薄膜素子用基板であって、 絶縁層貫通孔を有し、表面粗さRaが5nm以下の絶縁層と、 前記絶縁層貫通孔に充填された第1導通部と、 前記薄膜素子用基板の厚み方向に形成され、前記薄膜素子用基板の表裏を導通し、少なくとも前記第1導通部を有する導通部と を有し、 前記絶縁層上にパターン状に形成され、前記第1導通部上に配置された開口部を有する金属層をさらに有し、前記導通部は前記金属層と導通していないことを特徴とする薄膜素子用基板。
IPC (6件):
H05B 33/02 ( 200 6.01) ,  H05B 33/06 ( 200 6.01) ,  H01L 51/50 ( 200 6.01) ,  H05B 33/04 ( 200 6.01) ,  G09F 9/30 ( 200 6.01) ,  H01L 27/32 ( 200 6.01)
FI (6件):
H05B 33/02 ,  H05B 33/06 ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/04 ,  G09F 9/30 310 ,  G09F 9/30 365
引用特許:
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (3件)

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