保護部材および保護テープ貼着方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小野尚純 , 奥貫佐知子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-116551
公開番号（公開出願番号）：特開2013-243290
特許番号：特許第5918025号
出願日： 2012年05月22日
公開日（公表日）： 2013年12月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ウエーハの直径に対応した直径を有しウエーハの外周部に対応する外周部にのみ環状の粘着層を表面に備えた保護テープをウエーハに貼着するための保護部材であって、該保護テープより大きい面積を有し該保護テープの環状の粘着層よりも粘着力の弱い粘着層が表面に敷設されるとともに該保護テープの中心を示すマークが形成された透明または半透明なシートを備え、該シートの表面に該保護テープの裏面が中心を該マークに位置付けて貼着されている、ことを特徴とする保護部材。

IPC (2件)：