特許
J-GLOBAL ID：201603020036702364
表面保護用シート
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田・鈴木国際特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-081157
公開番号（公開出願番号）：特開2013-211439
特許番号：特許第5997478号
出願日： 2012年03月30日
公開日（公表日）： 2013年10月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 半導体ウエハの裏面研削を行う際に用いる表面保護用シートであって、
支持体片面の外周部に環状の粘着剤層を有し、支持体内周部表面のプローブタック値が5〜600mN/5mmΦである表面保護用シート。
IPC (4件)：
H01L 21/304 ( 200 6.01)
, H01L 21/683 ( 200 6.01)
, C09J 7/02 ( 200 6.01)
, C09J 175/14 ( 200 6.01)
H01L 21/304 622 J
, H01L 21/68 N
, C09J 7/02 Z
, C09J 175/14
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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