特許
J-GLOBAL ID：201603020070832269

断熱壁体の製造方法

発明者：
小林 誠

小林 誠 について

, 
山賀 健一

山賀 健一 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (2件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-230903
公開番号（公開出願番号）：特開2014-079990
特許番号：特許第5993272号
出願日： 2012年10月18日
公開日（公表日）： 2014年05月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】半導体ウエハの熱処理装置に用いられるヒータ装置の断熱壁体であって、第1の側壁、第2の側壁及び溝底から形成され、前記ヒータ装置の抵抗発熱体を保持する溝部を有する板状の断熱壁体の製造方法であって、 断熱材材料を水系媒体中に分散させて混合して、スラリー状にする工程と、 得られたスラリー状の前記断熱材材料に、通気孔を有し、前記溝部の形状に対応する表面を有する成形用型を当接させて、前記通気孔を介してスラリー状の前記断熱材材料を脱水する工程と、 前記成形用型を前記断熱材材料から型抜きすることにより、前記溝部の深さが一定で、前記溝底の幅が型抜きする方向に拡張する断熱壁体を製造する工程と、 を有し、 前記断熱壁体を製造する工程において、前記成形用型を前記断熱材材料から、前記溝部の長さ方向に型抜きする工程を含む、 断熱壁体の製造方法。
IPC (2件)：
B28B 1/26 ( 200 6.01) ,  B28B 7/20 ( 200 6.01)
FI (2件)：
B28B 1/26 102 ,  B28B 7/20
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (10件)
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