特許
J-GLOBAL ID:201603020208216394
干渉フィルター、光学モジュールおよび電子機器
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
上柳 雅誉
, 須澤 修
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-007819
公開番号(公開出願番号):特開2013-148644
特許番号:特許第5910099号
出願日: 2012年01月18日
公開日(公表日): 2013年08月01日
請求項(抜粋):
【請求項1】 ギャップを介して向かい合う2つの反射膜を備え、
前記反射膜は、
銀(Ag)、サマリウム(Sm)、および銅(Cu)を含有するAg-Sm-Cu合金膜を含み、
前記Ag-Sm-Cu合金膜は、
Smを0.1原子%以上0.5原子%以下含有し、
Cuを0.1原子%以上0.5原子%以下含有し、
SmおよびCuの合計は1.0原子%以下であり、
前記Ag-Sm-Cu合金膜の厚みが10nm以上30nm未満である
ことを特徴とする干渉フィルター。
IPC (2件):
G02B 5/28 ( 200 6.01)
, G02B 26/02 ( 200 6.01)
FI (2件):
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (8件)
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