特許
J-GLOBAL ID：201603020495060138
制御装置、リソグラフィー装置、物品の製造方法、及びフィードフォワード操作量データ列を生成する方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-087935
公開番号（公開出願番号）：特開2013-218496
特許番号：特許第5968017号
出願日： 2012年04月06日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 制御対象をフィードフォワード制御するフィードフォワード制御器を備えた制御装置であって、
前記制御対象に第1操作量を与えて計測された前記制御対象の第1応答データ列を取得し、
時刻によって異なりうる変数としての各ゲインを前記第1操作量に乗算して得られる第2操作量データ列を前記制御対象に与えた場合の前記制御対象の第2応答データ列が前記各ゲインを係数とする前記第1応答データ列の線形結合で表されるものとして、前記第2応答データ列と目標データ列との相違が許容範囲内となるように、前記各ゲインを未知数とする線形方程式の解を得ることにより前記各ゲインを決定し、
前記フィードフォワード制御器は、決定された前記各ゲインと前記第1操作量とに基づく前記制御対象に対するフィードフォワード操作量データ列を生成する、
ことを特徴とする制御装置。
IPC (2件)：
G05B 11/32 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
G05B 11/32 F
, H01L 21/30 516 B
, H01L 21/30 516 E
