特許
J-GLOBAL ID：201603020644343423

液体吐出ヘッドの製造方法及び液体吐出ヘッド

発明者：
渡部 正久

渡部 正久 について

, 
坂井 稔康

坂井 稔康 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (2件)： 宮崎 昭夫 ,  緒方 雅昭
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-225065
公開番号（公開出願番号）：特開2014-076571
特許番号：特許第5972139号
出願日： 2012年10月10日
公開日（公表日）： 2014年05月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 液体を吐出するためのエネルギーを発生させる複数のアクチュエーターが形成された基板と、該基板の上に、前記液体を吐出する吐出口及び前記アクチュエーターが配置される複数の液室を構成する流路形成部材と、を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、 前記流路形成部材は、前記吐出口を構成するオリフィスプレートと、前記液室の側壁を構成する液室側壁と、を少なくとも含み、 (1)前記基板の上に、前記液室の型材となるモールドを形成する工程と、 (2)前記基板及び前記モールドの上に化学的気相蒸着法により無機材料を配置し、前記流路形成部材を形成する工程と、ここで、前記流路形成部材には、隣り合う二つの前記液室側壁の間であって前記モールドが配されていない領域に凹部が形成され、 (3)前記流路形成部材上及び前記凹部内に感光性樹脂を配置して感光性樹脂層を形成する工程と、 (4)前記感光性樹脂層を前記オリフィスプレートの上面が露出するまで研削し、前記凹部内に埋め込み材を形成する工程と、 (5)前記研削の後、前記流路形成部材に前記吐出口を形成する工程と、 (6)前記吐出口を形成した後、前記モールドを除去する工程と、 を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
B41J 2/16 ( 200 6.01) ,  B41J 2/14 ( 200 6.01)
FI (10件)：
B41J 2/16 401 ,  B41J 2/16 501 ,  B41J 2/16 101 ,  B41J 2/16 511 ,  B41J 2/16 515 ,  B41J 2/16 507 ,  B41J 2/14 501 ,  B41J 2/14 607 ,  B41J 2/14 613 ,  B41J 2/14 201
引用特許：
出願人引用 (4件)
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