特許
J-GLOBAL ID：201603020953626677

ハロゲン化アルミニウムガスの製造方法

発明者：
岡山 玲子

岡山 玲子 について

, 
永島 徹

永島 徹 について


出願人/特許権者：
株式会社トクヤマ

株式会社トクヤマ について


公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-196898
公開番号（公開出願番号）：特開2014-051410
特許番号：特許第6004849号
出願日： 2012年09月07日
公開日（公表日）： 2014年03月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 アルミニウムを収容した収容部を備えた反応器の上流側からハロゲン系ガスを該収容部に供給することにより、該アルミニウムと該ハロゲン系ガスとを接触させてハロゲン化アルミニウムガスを製造する方法において、 該ハロゲン系ガスと第一キャリアガスとを該収容部の上流側から供給することにより、該収容部の下流側からハロゲン化アルミニウムガス及び第一キャリアガスを排出し、かつ 該アルミニウムと接触しないように第二キャリアガスを該収容部より下流側に供給することにより、該収容部の下流側から排出されたハロゲン化アルミニウムガス及び第一キャリアガスと、該第二キャリアガスとを混合させて、該ハロゲン化アルミニウムガスを反応器の下流側から排出するに際し、 該ハロゲン系ガス、該第一キャリアガス及び該第二キャリアガスの合計供給流量に対する該第二キャリアガスの供給流量の割合を0.20以上0.90以下とし、 該アルミニウムと該ハロゲン系ガスとが接触する該収容部の温度を200〜700°Cとすることを特徴とするハロゲン化アルミニウムガスの製造方法。
IPC (5件)：
C01F 7/58 ( 200 6.01) ,  C30B 29/38 ( 200 6.01) ,  C30B 25/14 ( 200 6.01) ,  C23C 16/34 ( 200 6.01) ,  H01L 21/205 ( 200 6.01)
FI (5件)：
C01F 7/58 ,  C30B 29/38 C ,  C30B 25/14 ,  C23C 16/34 ,  H01L 21/205
引用特許：
審査官引用 (4件)
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