電子ビーム顕微装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上学
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-240751
公開番号（公開出願番号）：特開2014-089936
特許番号：特許第5875500号
出願日： 2012年10月31日
公開日（公表日）： 2014年05月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】真空排気可能な鏡体と、電子ビームを生成する電子銃と、前記電子ビームを収束する電磁レンズと、試料を搭載する試料ホルダと、前記鏡体を大気解放することなく前記試料ホルダを前記鏡体内に導入できる第1のエアーロック機構とを有するステージと、前記電子ビームと前記試料とが相互作用した結果として生じる信号を検出する検出器と、を備え、前記鏡体は、前記試料ホルダに搭載された前記試料と概同一平面に、第2のエアーロック機構を備える開口部を備え、前記第2のエアーロック機構が、前記鏡体を大気解放することなく所定の部材を前記鏡体内に導入できるように構成されており、前記所定の部材は、前記所定の部材および前記試料ホルダがともに前記鏡体内に導入された際に、前記試料の観察もしくは分析に用いる構成要素であることを特徴とする電子ビーム顕微装置。

IPC (5件)：

H01J 37/18 ( 200 6.01) , H01J 37/20 ( 200 6.01) , H01J 37/244 ( 200 6.01) , H01J 37/16 ( 200 6.01) , H01J 37/09 ( 200 6.01)

FI (6件)：

H01J 37/18 , H01J 37/20 C , H01J 37/244 , H01J 37/16 , H01J 37/20 F , H01J 37/09 A

引用特許：

出願人引用 (8件)

走査透過電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-326817 出願人：株式会社日立製作所
特開昭63-291347
特開昭60-189854

全件表示

審査官引用 (8件)

走査透過電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-326817 出願人：株式会社日立製作所
特開昭63-291347
特開昭60-189854

全件表示

前のページに戻る