特許

J-GLOBAL ID：201603021193134880

直動テーブル装置

発明者： 大谷 雄志
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
代理人 (5件)： 森 哲也 ,  鈴木 壯兵衞 ,  田中 秀▲てつ▼ ,  廣瀬 一 ,  宮坂 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-220238
公開番号（公開出願番号）：特開2016-083753
出願日： 2014年10月29日
公開日（公表日）： 2016年05月19日
要約：

【課題】駆動ねじ軸の軸方向における装置長を短くできる直動テーブル装置を提供する。【解決手段】直動テーブル装置1は、軸方向が水平方向となるように一対のメインテーブル側第1軸受13及びメインテーブル側第2軸受14にその両端が回転可能に軸支されたメインテーブル用駆動ねじ軸11及び軸方向が水平方向となるように一対のウエイトテーブル側第1軸受33及びウエイトテーブル側第2軸受34にその両端が回転可能に軸支されたウエイトテーブル用駆動ねじ軸31を備える。メインテーブル用駆動ねじ軸11及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸31は、軸方向となる水平方向と直交する鉛直方向の上下において並列配置されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

水平方向に延びるように設置されるベースと、 該ベースに取り付けられた一対のメインテーブル側第1軸受及びメインテーブル側第2軸受と、 前記ベースに取り付けられた一対のウエイトテーブル側第1軸受及びウエイトテーブル側第2軸受と、 軸方向が水平方向となるように前記一対のメインテーブル側第1軸受及びメインテーブル側第2軸受にその両端が回転可能に軸支されたメインテーブル用駆動ねじ軸及び軸方向が水平方向となるように前記一対のウエイトテーブル側第1軸受及びウエイトテーブル側第2軸受にその両端が回転可能に軸支されたウエイトテーブル用駆動ねじ軸と、 前記メインテーブル用駆動ねじ軸に対し転動体を介して外装され、前記メインテーブル用駆動ねじ軸が回転することにより前記メインテーブル用駆動ねじ軸に沿って移動するメインテーブル用ナット及び前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸に対し転動体を介して外装され、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸が回転することにより、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸に沿って前記メインテーブル用ナットと逆方向に移動するウエイトテーブル用ナットと、 前記メインテーブル用ナットに固定された被搭載物を搭載可能なメインテーブル及び前記ウエイトテーブル用ナットに固定されたウエイトテーブルと、 前記メインテーブル用駆動ねじ軸を回転駆動するメインテーブル駆動モータ及び前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸を回転駆動するウエイトテーブル駆動モータとを備え、 前記メインテーブル用駆動ねじ軸及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸は、前記軸方向となる水平方向と直交する鉛直方向の上下において並列配置されていることを特徴とする直動テーブル装置。

IPC (4件)：

B23Q 1/72 ,  B23Q 1/58 ,  H01L 21/68 ,  G12B 5/00

FI (4件)：

B23Q1/72 A ,  B23Q1/58 Z ,  H01L21/68 K ,  G12B5/00 T

Fターム (18件)：

2F078CA08 ,  2F078CB02 ,  2F078CB04 ,  2F078CB09 ,  2F078CB10 ,  2F078CB12 ,  2F078CB18 ,  2F078CC03 ,  2F078CC19 ,  3C048BC02 ,  3C048DD01 ,  3C048EE10 ,  5F131AA03 ,  5F131CA19 ,  5F131CA38 ,  5F131EA14 ,  5F131EA15 ,  5F131EA22

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-193134
  
• 反力減衰駆動装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-056880   出願人：NECマシナリー株式会社
• 位置決めテーブル装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-100585   出願人：日本精工株式会社