特許
J-GLOBAL ID：201603021334610290
レーザーパルスによる加工物の製造方法及びレーザー加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
速水 進治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-146465
公開番号（公開出願番号）：特開2014-008519
特許番号：特許第5985903号
出願日： 2012年06月29日
公開日（公表日）： 2014年01月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 透過型の回折光学素子を透過させるか又は反射型の回折光学素子にて反射させることによりレーザーパルスを直線に沿ってジグザグ状に並ぶ複数のレーザーパターンに分岐して、前記複数のレーザーパターンからなるレーザーパターン列を加工対象物に照射することによって前記加工対象物を加工する工程を有し、
前記レーザーパターン列のレーザーパターンのうち、前記直線の一端側から数えてx番目及び(x+1)番目のレーザーパターンの中心どうしを結ぶ線分と、(x+1)番目及び(x+2)番目のレーザーパターンの中心どうしを結ぶ線分と、のなす角度αは、2arctan(1/m)×180/π(xは1以上の任意の正の整数、mは1以上の正の整数)であり、
前記加工対象物を加工する工程では、前記レーザーパターンが前記加工対象物に対して千鳥格子状に照射されるように、前記レーザーパターン列を前記直線の延在方向に対する交差方向に走査し、かつ
前記走査方向の一端側から数えてy列目(yは1以上の任意の正の整数)の前記レーザーパターン列に含まれるレーザーパターンのうち、当該レーザーパターン列の中心線である前記直線を基準として前記走査方向の他端側に偏位しているレーザーパターンと、
前記走査方向の一端側から数えて(y+m)列目の前記レーザーパターン列に含まれるレーザーパターンのうち、当該レーザーパターン列の中心線である前記直線を基準として前記走査方向の一端側に偏位しているレーザーパターンと、
が前記直線と平行に一直線上に並ぶように、前記レーザーパターン列を走査するレーザーパルスによる加工物の製造方法。
IPC (3件)：
B23K 26/073 ( 200 6.01)
, B23K 26/067 ( 200 6.01)
, B23K 26/082 ( 201 4.01)
B23K 26/073
, B23K 26/067
, B23K 26/082
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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