文献

J-GLOBAL ID：201702206260571615   整理番号：17A0977658

確率論に基づく解析を用いた原子間力顕微鏡法によるナノ粒子接着の測定

Measurement of nano particle adhesion by atomic force microscopy using probability theory based analysis

著者 (6件)： GEIGER D (Ulm Univ., Ulm, DEU) ,  SCHREZENMEIER I (Ulm Univ., Ulm, DEU) ,  ROOS M (Carl Zeiss SMT GmbH, Oberkochen, DEU) ,  NECKERNUSS T (Ulm Univ., Ulm, DEU) ,  LEHN M (Ulm Univ., Ulm, DEU) ,  MARTI O (Ulm Univ., Ulm, DEU)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 50  号： 20  ページ： 205301,1-9  発行年： 2017年05月24日 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡(AFM)を用いて測定した横方向力の分布を解析して,基板上のナノ粒子の付着力を検出する方法を示した。この方法は標準の測定モード(接触,接触力,間欠接触)のみを使用するので,片持梁の垂直及び横方向偏向を同時に追跡できるほぼ全ての市販AFMに適用できる。可能な最少数の実験で精密な測定を可能にする確率論を適用して,幾何形状に関係する測定誤差を回避する方法を示した。理論モデルは任意の形状の粒子及び付着力の分布に対して適用できる。付着力がGauss分布した球形粒子の問題にこの理論を適用した。Si基板上の直径50nmのシリカナノ粒子の測定データを用いて,情報理論の方法で理論モデルの妥当性を試験した。

シソーラス用語： *ナノ粒子 ,  *付着力 ,  計測 ,  *原子間力顕微鏡 ,  片持梁 ,  確率論 ,  統計解析 ,  基板 ,  分布関数 ,  確率密度関数
準シソーラス用語： ケイ素基板 ,  横方向力 ,  力測定 ,  累積分布関数

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 確率論 ,  解析 ,  原子間力顕微鏡法 ,  ナノ粒子