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J-GLOBAL ID：201702211550705016   整理番号：17A1020061

反応N_2ガスとAl蒸着で成長させたAlNホイスカの形態【Powered by NICT】

Morphology of AlN whiskers grown by reacting N₂ gas and Al vapor

著者 (9件)： Matsumoto M. (Department of Materials Science and Engineering, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, Japan) ,  Saitou H. (Department of Materials Science and Engineering, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, Japan) ,  Takeuchi Y. (Department of Materials Science and Engineering, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, Japan) ,  Harada S. (Department of Materials Science and Engineering, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, Japan) ,  Harada S. (Center for Integrated Research of Future Electronics (CIRFE), Institute of Materials and Systems for Sustainability (IMaSS), Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, Japan) ,  Tagawa M. (Department of Materials Science and Engineering, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, Japan) ,  Tagawa M. (Center for Integrated Research of Future Electronics (CIRFE), Institute of Materials and Systems for Sustainability (IMaSS), Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, Japan) ,  Ujihara T. (Department of Materials Science and Engineering, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, Japan) ,  Ujihara T. (Center for Integrated Research of Future Electronics (CIRFE), Institute of Materials and Systems for Sustainability (IMaSS), Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, Japan)
資料名： Journal of Crystal Growth  (Journal of Crystal Growth)
巻： 468  ページ： 576-580  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0942A  ISSN： 0022-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々の合成条件下でFe-Al合金メルトを用いて多結晶AlN基板上のAlNホイスカの形態を調べた。AlNホイスカの形成密度は増加し,ホイスカの直径はFe-Al合金溶融物のAl含有量の増加と共に減少した。AlNホイスカの大部分は六角形の断面を有するジグザグ形状である。縦方向は[0001]方向であった。ジグザグ形状でファセットが{11 01}または{11 01}ピラミッド面であり,ジグザグ型ファセットの期間はほぼ一定であった。ホイスカの平均直径とジグザグファセットの期間はAl含有量の増加と共に減少した。ホイスカ形成の初期段階では,AlN基板と錐体ファセット上に形成されたAlN島はステップフロー成長により成長した。観察から,ジグザグ形状AlNホイスカの形成の可能な機構を考察した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 錐体 ,  *ホイスカ ,  折れ線 ,  *アルミニウム ,  気相 ,  合金 ,  ファセット ,  蒸着 ,  メルト ,  角錐 ,  *窒化アルミニウム ,  多結晶

著者キーワード (4件)： B1窒化アルミニウム ,  B1ホイスカ ,  A2気相からの成長 ,  A1形態

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (6件)： Al ,  蒸着 ,  成長 ,  AlN ,  ホイスカ ,  形態