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J-GLOBAL ID：201702212334507639   整理番号：17A1554094

エーロゾル支援化学蒸着(AACVD)によるReドープMoS_2(Mo_1 xRe_xS_2)薄膜へのレニウム取込に及ぼす前駆体の影響【Powered by NICT】

The influence of precursor on rhenium incorporation into Re-doped MoS₂ (Mo_1-xRe_xS₂) thin films by aerosol-assisted chemical vapour deposition (AACVD)

著者 (8件)： Al-Dulaimi Naktal (School of Chemistry, The University of Manchester, Oxford Road, M13 9PL, UK. Paul.O’[e-mail]) ,  Lewis Edward A. ,  Savjani Nicky ,  McNaughter Paul D. ,  Haigh Sarah J. ,  Malik M. Azad ,  Lewis David J. ,  O’Brien Paul
資料名： Journal of Materials Chemistry C. Materials for Optical, Magnetic and Electronic Devices  (Journal of Materials Chemistry C. Materials for Optical, Magnetic and Electronic Devices)
巻： 5  号： 35  ページ： 9044-9052  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2383A  ISSN： 2050-7526  CODEN： JMCCCX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 分子前駆体[Mo(S_2CNEt_2)4](1),[Re(S_2CC_6H_5)(S_3CC_6H_5)2](2)および[Re_2(μ S)2(S_2CNEt_2)4](3)を,エアロゾル支援化学気相蒸着(AACVD)による550°CでReドープMoS_2の薄膜を析出した。ICP-OES at%Re2 17約から,前駆体(3)を用いて膜からReのより多量の組込みを各膜中のReドーパントの量を定量化した。一般に,軽くドープした膜は元素均一性の証拠とEDX分光法マッピングとpXRD測定からの構造の保持を示した。しかし,Raman分光法は,MoS_2構造はMoS_2のE_2gとA_1g光学フォノン,Reの5d軌道に起因する層内Re-Re結合の導入に起因するの消失による重ドーピング(約>at%Re4 7)に失われることを示唆した。電子顕微鏡はReドーパント原子の包接もクラスタと花弁に作製した膜,ラメラ構造の範囲の形態に劇的に影響を与えることを示し,同じようなドーピングレベルで形態は両Re前駆体から作製した膜で類似しているが。Copyright 2017 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *ドーピング ,  クラスタ ,  *蒸着 ,  *薄膜 ,  層状組織 ,  *エアロゾル ,  *レニウム ,  ドーパント ,  *化学蒸着 ,  電子顕微鏡 ,  *前駆体 ,  Raman分光法
準シソーラス用語： ドーピング【薬】 ,  光学フォノン , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (9件)： エーロゾル ,  支援 ,  化学蒸着 ,  Re ,  ドープ ,  薄膜 ,  レニウム ,  取込 ,  前駆体