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J-GLOBAL ID：201702212383758937   整理番号：17A1546325

種々の寸法と配置の金属管内のプラズマ浸漬イオン注入(と堆積)【Powered by NICT】

Plasma immersion ion implantation (and deposition) inside metallic tubes of different dimensions and configurations

著者 (5件)： Ueda M. (Associated Laboratory of Plasma, National Institute for Space Research, Sao Jose dos Campos, SP, Brazil) ,  Silva C. (Associated Laboratory of Plasma, National Institute for Space Research, Sao Jose dos Campos, SP, Brazil) ,  Silva C. (Associated Laboratory of Materials and Sensors, National Institute for Space Research, Sao Jose dos Campos, SP, Brazil) ,  Santos N.M. (Associated Laboratory of Plasma, National Institute for Space Research, Sao Jose dos Campos, SP, Brazil) ,  Souza G.B. (State University of Ponta Grossa, Ponta Grossa, PR, Brazil)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 409  ページ： 202-208  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： は多くの実用的な現代の応用のための金属管内コートまたはインプラントイオンへの方法を開発するための強い必要性,産業及び科学の両方である。,短い長さ20cm,411および16cmの実用的な直径を持つステンレス鋼管は内部窒素プラズマ浸漬イオン注入(PIII)により処理した。端の一つに蓋を有する管または両側開放異なる配置は,より良いPIII性能を試験し,最小直径管の場合であった。管におけるこれらのPIII試験の中で,蓋を有する直径4cmの一つを用いて,15分で700°C以上の管温度を達成し,全処理時間(典型的には2h)の際にそれを維持することが可能である。異なる材料で作られた試料は管の内部に置かれた後解析のためのモニタとして,管は中程度の電源により駆動される両高電圧グロー放電及び中空陰極放電を高電圧パルサーだけでパルスした。本実験では,304ステンレス鋼,純Ti,Ti-6Al-4VとSiの試料は,上記の方法の試験に用いた。処理法と同様に,これらの窒素PIII処理した材料の表面の解析の結果を示し,議論した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 加工時間 ,  パルス ,  グロー放電 ,  *金属管 ,  ホロー陰極放電 ,  ケイ素 ,  窒素
準シソーラス用語： SUS304 ,  ステンレス鋼管 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： プラズマ浸漬イオン注入 ,  金属管内の蒸着 ,  種々の寸法と配置をもつ管 ,  高温PIII

分類 (2件)： その他の物質の放射線による構造と物性の変化  (BK16124V) ,  放射線高分子化学  (CG03050S)

タイトルに関連する用語 (3件)： 金属管 ,  プラズマ浸漬イオン注入 ,  堆積