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J-GLOBAL ID:201702213058224529   整理番号:17A1615060

スパッタリング法により調製した酸化ニオブ非晶質膜の構造解析および逆モンテカルロモデリング

Structural analyses and reverse Monte Carlo modeling of niobium oxide amorphous film prepared by sputtering method
著者 (6件):
資料名:
巻: 125  号: 10  ページ: 760-765(J-STAGE)  発行年: 2017年 
JST資料番号: U0409A  ISSN: 1348-6535  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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分類 (2件):
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酸化物薄膜  ,  金属酸化物及び金属カルコゲン化物の結晶構造 

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