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J-GLOBAL ID：201702213642326152   整理番号：17A0697612

変形測定のための加工回折格子の新しい方法:レビュー【Powered by NICT】

New methods of fabricating gratings for deformation measurements: A review

著者 (2件)： Dai Xianglu (AML, Department of Engineering Mechanics, Tsinghua University, Beijing 100084, China) ,  Xie Huimin (AML, Department of Engineering Mechanics, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
資料名： Optics and Lasers in Engineering  (Optics and Lasers in Engineering)
巻： 92  ページ： 48-56  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0602B  ISSN： 0143-8166  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 格子は実用的で有効な変形キャリア/センサとして広く受け入れられて,多くの変形測定法で一般的に使用される。変形測定感度は格子周波数に直接比例する,測定精度は格子品質に強く影響される。が測定されることを試料表面に適切な格子を作製することが重要である。過去数十年にわたり,増加数回折格子の作製法を開発し,ホログラフィックフォトリソグラフィー,電子ビームリソグラフィー,集束イオンビームエッチング,ナノインプリント,ソフトリソグラフィーなどを含んでいる。回折格子の作製に関する実質的な文献を見出すことができるが,包括的なレビューは,これらの方法の適用を促進するためにまだ必要である。本レビューでは,最近開発された回折格子の作製法の技術的詳細と特性を紹介し,種々の変形測定法との対応に使用する回折格子の作製法の提案を提供する。格子製造プロセスの導入と得られた格子の品質と適用性に重点を置いた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 生産工程 ,  測定精度 ,  イオンエッチング ,  *回折格子 ,  適応性 ,  品質 ,  センサ ,  モアレ ,  電子ビームリソグラフィー ,  周波数 ,  集束
準シソーラス用語： ソフトリソグラフィー ,  ナノインプリント , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 変形回折格子の作製 ,  格子 ,  モアレ ,  変形測定

分類 (1件)： その他の光学的測定法とその装置  (BD07080R)

タイトルに関連する用語 (2件)： 回折格子 ,  レビュー