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J-GLOBAL ID：201702215128563073   整理番号：17A1477811

加工における基礎的な測定法と評価項目 AFMによる粗さ測定について

著者 (1件)： 三隅伊知子 (産業技術総合研)
資料名： 砥粒加工学会誌  (Abrasive Technology)
巻： 61  号： 11  ページ： 586-589  発行年： 2017年11月01日 
JST資料番号： L0473A  ISSN： 0914-2703  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 薄膜作製や材料表面処理条件の最適化を行うための原子間力顕微鏡(AFM)による粗さ測定で,より信頼性の高い測定結果を得るために従来の触針式粗さ計と同様,規格に基づいた測定の重要性が高まってきている。本報では規格化の現状を説明した。「JISB0681-6:2014」には,三次元表面凹凸を測定する方法の1つとしてAFMが挙げられているが,測定機の特性に関する規格が今のところ発行されていない。現在利用可能な規格としては,「JSR1683:2014」が挙げられる。ここでは,測定手順の概要と高分解能レーザ干渉計をXYZ軸に搭載した原子間力顕微鏡(測長AFM)を用いた粗さ測定の例を示した。AFMによる粗さ測定を行う際の留意点を示した。

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  *表面粗さ ,  標準化 ,  JIS【規格】 ,  三次元 ,  レーザ干渉計 ,  分解能 ,  長さ測定 ,  表面構造
準シソーラス用語： AFM【顕微鏡】 ,  表面凹凸

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： 基礎 ,  測定法 ,  評価項目 ,  AFM ,  粗さ