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J-GLOBAL ID：201702215308487645   整理番号：17A0665030

熱電対アレイを用いた2Dマッピング局所温度の半接触パッドを節約する【Powered by NICT】

To save half contact pads in 2D mapping of local temperatures with a thermocouple array

著者 (6件)： Han Danhong (Key Laboratory for the Physics & Chemistry of Nanodevices, Department of Electronics, Peking University, Beijing, 100871, P. R. China. [e-mail]) ,  Li Gang ,  Zhou Sikai ,  Wang Zhenhai ,  Yang Fan ,  Xu Shengyong
資料名： RSC Advances (Web)  (RSC Advances (Web))
巻： 7  号： 15  ページ： 9100-9105  発行年： 2017年 
JST資料番号： U7055A  ISSN： 2046-2069  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロエレクトロニクスデバイスの急速な発展は,現在利用可能なセンサから得られたものより良好な感度と高い空間分解能を有する小さいセンサを必要とする。薄膜熱電対(TFTC)アレイを用いた局所温度の二次元(2D)マッピングのために,高い空間分解能は,通常,アレイにおけるセンサの大量,常により多くのリードと接触パッドを意味している。樹状アレイを用いて,一つの材料の全誘導は共通の接触パッドを共有していたが,N TFTCのアレイからなるN+1接触パッドのみよりも通常の構成のための2Nパッドと良く,従来のアレイで測定したものと局所的温度分布の同じ2Dマップをもたらしたことを明らかにした。相対誤差は5%以下であった。この単純化素子構成は,ワイヤボンディングとデバイス作製の困難さを効果的に減少させた,新しいウェアラブルと柔軟なデバイスへの応用を見出すであろう。Copyright 2017 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： ワイヤボンディング ,  センサ ,  温度分布 ,  *熱電対 ,  空間分解能 ,  *パッド ,  薄膜 ,  簡素化 ,  高速度 ,  二次元 ,  ウェアラブル ,  相対誤差 ,  改変

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  温度測定,温度計  (AD06010K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 熱電対 ,  アレイ ,  2D ,  マッピング ,  パッド ,  節約