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J-GLOBAL ID：201702215561940649   整理番号：17A0506460

射出成型における,ミクロからナノの十字形状アレイの複製品質の実験的研究

Experimental study on the replication quality of micro-nano cross-shaped structure arrays in injection molding

著者 (4件)： ZHOU Mingyong (Central South Univ., Hunan, CHN) ,  JIANG Bingyan (Central South Univ., Hunan, CHN) ,  WENG Can (Central South Univ., Hunan, CHN) ,  ZHANG Lu (Central South Univ., Hunan, CHN)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 23  号： 4  ページ： 983-989  発行年： 2017年04月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 寸法がミクロからナノ・オーダーの十字形状アレイを射出成型するのに用いるニッケルの金型インサートを,電子線ビームリソグラフィー(EBL)と電鋳法を組み合わせて作製し,ポリマー・メルトの充填挙動を調べた。パッキング(packing)無し,不十分パッキング,及び十分パッキングの三つの条件で,流れ方向と垂直方向の充填挙動をそれぞれ調べた。複製性能を評価する指標として,平均充填比率と柱部分の平均高さを採用することを提案した。実験結果から,複製性能は,金型温度の上昇と冷却時間の増加で改良されることを見出した。また,パッキング圧力とパッキング時間には最適値があることが分かった。

シソーラス用語： *射出成形 ,  *微細構造 ,  *ナノ構造 ,  改良 ,  *充填 ,  *品質管理 ,  *電子ビームリソグラフィー ,  *電鋳 ,  *融解高分子 ,  *複製 ,  ニッケル ,  方向 ,  時間 ,  ガラス転移点 ,  ポリメタクリル酸メチル
準シソーラス用語： 品質改善 ,  流方向 ,  冷却時間 ,  射出成

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (5件)： 射出成型 ,  十字形状 ,  アレイ ,  複製 ,  実験的研究