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J-GLOBAL ID：201702215719037880   整理番号：17A0527163

微小空洞構造で統合した二層電極を使用した粒子捕そくとインピーダンス測定

Particle trapping and impedance measurement using bilayer electrodes integrated with microcavity structure

著者 (5件)： CHEN Guan-Ting (National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN) ,  LIU Chia-Feng (National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN) ,  JANG Ling-Sheng (National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN) ,  LI Shun-Lai (Southern Taiwan Univ. Sci. and Technol., Tainan, TWN) ,  WANG Min-Haw (Chinese Culture Univ., Taipei, TWN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 27  号： 3  ページ： 035007,1-9  発行年： 2017年03月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 生きた細胞の測定などに使用される電気インピーダンス分光に関し,粒子トラッピングのための3次元構造を形成するための,微小空洞構成を有する,電極の2つの層を組み合わせた,マイクロ流体デバイスについて検討した。測定電極がトラッピング構造に統合されている。微小空洞の径は35μmで,500nmの厚さのCu層を有するPI基板上にCO₂アブレーションで形成される。対象のオブジェクトがトラップされるとすぐにインピーダンス解析が行われる。インピーダンス分光の電圧は0.3V,周波数範囲は10kHz~1MHzである。出口開口の径10μmで,インピーダンス測定の感度を改善できた。

シソーラス用語： *空洞 ,  *電気測定 ,  粒子 ,  *捕獲 ,  スペクトロスコピー ,  細胞
準シソーラス用語： *微小空洞 ,  *インピーダンス測定 ,  *捕捉 ,  インピーダンス分光法

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  生物物理的研究法  (EA03020V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 微小空洞 ,  統合 ,  二層 ,  捕そく ,  インピーダンス測定