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J-GLOBAL ID：201702216127120300   整理番号：17A1238033

高分解能ガス監視システムにより分析した有機金属気相エピタクシー反応炉におけるトリメチルガリウムと付加物形成の分解【Powered by NICT】

Decomposition of trimethylgallium and adduct formation in a metalorganic vapor phase epitaxy reactor analyzed by high-resolution gas monitoring system

著者 (9件)： Nagamatsu Kentaro (Institute of Materials and Systems for Sustainability, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, Aichi, Japan) ,  Nitta Shugo (Institute of Materials and Systems for Sustainability, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, Aichi, Japan) ,  Ye Zheng (Department of Electrical Engineering and Computer Science, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, Aichi, Japan) ,  Nagao Hirofumi (MSI.TOKYO, INC., 1-3-10, Tobitakyu, Chofu 182-0036, Tokyo, Japan) ,  Miki Shinichi (MSI.TOKYO, INC., 1-3-10, Tobitakyu, Chofu 182-0036, Tokyo, Japan) ,  Honda Yoshio (Institute of Materials and Systems for Sustainability, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, Aichi, Japan) ,  Amano Hiroshi (Institute of Materials and Systems for Sustainability, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, Aichi, Japan) ,  Amano Hiroshi (Akasaki Research Center, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, Aichi, Japan) ,  Amano Hiroshi (Venture Business Laboratory, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, Aichi, Japan)
資料名： Physica Status Solidi. B. Basic Solid State Physics  (Physica Status Solidi. B. Basic Solid State Physics)
巻： 254  号： 8  ページ： null  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0599A  ISSN： 0370-1972  CODEN： PSSBBD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,以前に報告されたよりも飛行時間(TOF)高分解能と高感度質量分析測定を用いて,ジメチルガリウムとmonomethylgalliumへのトリメチルガリウムの分解し,それに伴って抵抗加熱器を有する市販の水平有機金属気相エピタクシー(MOVPE)反応器におけるNH_xとの付加物生成をより詳細に調べ,観察された。結果は,実際のMOVPE系における素反応過程の解析におけるTOFモニタリングシステムの使用を確認した。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 抵抗加熱 ,  高感度 ,  *高分解能 ,  反応器 ,  質量分析 ,  *監視装置 ,  素反応 ,  *付加物 ,  *MOCVD
準シソーラス用語： 飛行時間 ,  *反応炉 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： adducts ,  decomposition ,  質量分析 ,  MOVPE ,  トリメチルガリウム

分類 (2件)： 13-15族化合物を含む半導体-半導体接合  (BM03082Y) ,  半導体のルミネセンス  (BM08092S)

物質索引 (2件)： ジメチルガリウム ,  トリメチルガリウム

タイトルに関連する用語 (7件)： 高分解能 ,  監視システム ,  分析 ,  有機金属気相エピタクシー ,  トリメチルガリウム ,  付加物 ,  分解