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J-GLOBAL ID：201702216250030102   整理番号：17A0470335

表面下に隠れている変形地域のスパッタリングによる検出【Powered by NICT】

Detection by sputtering of deformed areas hidden under a surface

著者 (3件)： Tolpin K.A. (Physics Faculty of Moscow State University, Moscow 119991, Russia) ,  Minnebaev K.F. (Physics Faculty of Moscow State University, Moscow 119991, Russia) ,  Yurasova V.E. (Physics Faculty of Moscow State University, Moscow 119991, Russia)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 138  ページ： 139-145  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表面下に埋められた変形領域のスパッタリングによる可視化の高感度法を開発した。集中荷重による変形領域のスパッタリングに及ぼす二元不規則合金の表面原子の格子定数と結合エネルギーの変化の影響を,分子動力学を用いて調べた。計算はCu_87Sn_13,Ni_97Fe_3とFe_97Ni_3合金,徴候をとコインと項目の製造に使用されるを行った。実験とスパッタされた粒子のエネルギー及び角分布のMDシミュレーションにより,変形領域の検出のための最適条件,表面下に埋められた,7 10keVのエネルギーを持つ十分に大きな質量(Ar~+, Kr~+)の不活性ガスイオンによる照射の場合,スパッタリング収率はその最大値に近いときに起こることが分かった。傾斜イオンビームを使用することを提案する,スパッタリング係数の角度依存性の最大。これはイオン照射に必要な時間の短縮,およびターゲットの狭い表面近傍層における累積効果のために得られた画像の透明度の増加をもたらした。スパッタリングの推奨パラメータを用いて鋼物体上のマーキング数を摩滅し切って完全に青銅硬貨と画像上で破壊された画像を明らかにすることを可能にした。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 高感度 ,  不活性ガス ,  結合エネルギー ,  *スパッタリング ,  角分布 ,  画像 ,  分子動力学 ,  青銅 ,  角度依存性 ,  不規則合金 ,  透明度 ,  イオン照射 ,  最適条件 ,  格子定数
準シソーラス用語： スパッタリング収率 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： スパッタリング ,  二元合金 ,  Deformation ,  分子動力学的シミュレーション

分類 (1件)： スパッタリング  (BK16110U)

タイトルに関連する用語 (2件)： 地域 ,  スパッタリング