文献

J-GLOBAL ID：201702216484595463   整理番号：17A1534636

La₂O₃/SnO₂積層素子を用いたMEMS CO₂センサの検出特性

SENSING CHARACTERISTICS OF MEMS CO₂ SENSORS BASED ON La₂O₃/SnO₂ STACKED DEVICE

著者 (5件)： 岩田達哉 (豊橋技科大) ,  SOO Wei Ping Carine (豊橋技科大) ,  松田恭輔 (豊橋技科大) ,  高橋一浩 (豊橋技科大) ,  澤田和明 (豊橋技科大)
資料名： Chemical Sensors  (Chemical Sensors)
巻： 33  号： Supplement A  ページ： 10-12  発行年： 2017年03月25日 
JST資料番号： L3948A  CODEN： KAGSEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 最近,小型・低消費電力化や回路との集積化のため,小さい加熱構造を有するMEMSホットプレート(MHP)ガスセンサの開発が盛んに行われている。本研究では,センサ材料としてLa₂O₃/SnO₂積層構造を用い,MHP上へのセンサの作製とその特性評価を行った。ヒータ材料としては,多結晶Siを用いた。MHPの上にPt櫛形電極を形成し,その上にSnO₂/La₂O₃を積層した。SnO₂はスパッタリング法により室温下に蒸着し,La₂O₃はMODによりスピンコートし,酸素雰囲気下に650°Cで焼成して薄膜を作製した。作製したデバイス評価は,CO₂/擬似大気下,素子抵抗の変化により行った。擬似大気中の抵抗(R_a)とCO₂導入時の抵抗(R_CO2)の比(R_a/R_CO2)を感度とした。センサのCO₂感度は,操作温度が上がるにつれ増加し,350°Cで最大2.9に達し,さらに温度を上げると低下した。400°Cでの感度は,CO₂濃度と共にほぼ直線的に増加し,4000ppmまでは検出可能であり,検出下限は,200ppmであることが分った。この時のヒータの消費電力は,約20mWで,小型低消費電力MEMS CO₂センサであることが実証された。

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  *二酸化炭素 ,  *MEMS ,  *加熱器 ,  *酸化ランタン ,  *酸化スズ ,  *積層構造 ,  電極 ,  櫛形 ,  *半導体薄膜 ,  スパッタリング ,  スパッタ蒸着 ,  溶液成長 ,  薄膜成長 ,  スピンコーティング ,  焼成 ,  固体素子 ,  *電気抵抗 ,  *感度 ,  検出限界
準シソーラス用語： MOD法 ,  センサ素子 ,  *ホットプレート ,  櫛形電極

分類 (3件)： 分析機器  (CC02020S) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X)

引用文献 (6件)：

• I. Simon, N. Bârsan, M. Bauer, U. Weimar, Sensors and Actuators B, 73, 1 (2001).
• D.H. Kim, J.Y. Yoon, H.C. Park, K.H. Kim, Sensors and Actuators B, 62, 61 (2000).
• A. Marsal, G. Dezanneau, A. Cornet, J.R. Morante, Sensors and Actuators B, 95, 266 (2003).
• Z. Jiao, F. Chen, R. Su, X. Huang, W. Liu, J. Liu, Sensors, 2, 366 (2002).
• T. Iwata, W. P. C. Soo, K. Matsuda, K. Takahashi, M. Ishida, K. Sawada, J. Micromechanics Microengineering, 27, 24003 (2017).

タイトルに関連する用語 (2件)： La2O3 ,  MEMS