文献

J-GLOBAL ID：201702285715822570   整理番号：17A0527240

スマートガスセンシングシステムのためのSU-8支持層を持つブリッジタイプマイクロホットプレートの設計,製作,およびキャラクタリゼーション

Design, fabrication, and characterization of bridge-type micro-hotplates with an SU-8 supporting layer for a smart gas sensing system

著者 (6件)： IWATA T (Toyohashi Univ. Technol., Toyohashi, JPN) ,  SOO W P C (Toyohashi Univ. Technol., Toyohashi, JPN) ,  MATSUDA K (Toyohashi Univ. Technol., Toyohashi, JPN) ,  TAKAHASHI K (Toyohashi Univ. Technol., Toyohashi, JPN) ,  ISHIDA M (Toyohashi Univ. Technol., Toyohashi, JPN) ,  SAWADA K (Toyohashi Univ. Technol., Toyohashi, JPN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 27  号： 2  ページ： 024003,1-9  発行年： 2017年02月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,スマートガスセンサおよびマルチモードセンサにおける高密度集積のためのSU-8支持層を持つブリッジタイプマイクロホットプレート(MHP)を提案した。MHPは,4本のブリッジでつるされた140μm×140μmの薄膜で構成され,33μm厚のSU-8層がブリッジ上に堆積されている。FEMシミュレーションによってMHPが十分に断熱されていることを確認した。このMHPは,バイアス電圧5Vで最高550°Cに達し,300°Cにおける消費電力は13.9mWであった。また,356°Cにおいて100分間定電圧で安定に稼働した。

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  フォトレジスト ,  *加熱器 ,  高密度実装 ,  ポリシリコン ,  センサ ,  半導体素子 ,  酸化スズ
準シソーラス用語： SU-8 ,  *ホットプレート ,  半導体センサ ,  二酸化スズ

分類 (2件)： 電熱  (NB11020Y) ,  計測機器一般  (AD02000X)

タイトルに関連する用語 (5件)： SU-8 ,  支持層 ,  設計 ,  製作 ,  キャラクタリゼーション