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J-GLOBAL ID：201702216662124937   整理番号：17A0381417

液体を満たしたナノメートルスケールギャップを持つ静電曲げアクチュエータ【Powered by NICT】

Electrostatic bending actuators with a liquid filled nanometer scale gap

著者 (8件)： Gaudet M. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, Dresden, Germany) ,  Uhlig S. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, Dresden, Germany) ,  Stolz M. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, Dresden, Germany) ,  Arscott S. (Institute of Electronics, Microelectronics and Nanotechnology, CNRS (UMR8520), Villeneuve d’Ascq, France) ,  Conrad H. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, Dresden, Germany) ,  Langa S. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, Dresden, Germany) ,  Kaiser B. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, Dresden, Germany) ,  Schenk H. (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, Dresden, Germany)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 175-178  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノシステムへの液体の挿入によるシリコンベースナノ静電駆動(NED)構造[1]の静電駆動にかなりの改善を報告した。液体誘電体は,単位印加ボルト性能当たりの発生した力を増強することを電極ギャップ中の絶縁,高誘電率可変形媒質を提供する。研究は小体積液体(マイクロフルイディクス/ナノフルイディクス)はマイクロとナノ電気機械システム(MEMS/NEMS)に挿入された2.75までのシステムの性能を向上させることができることを示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： マイクロフルイディクス ,  *アクチュエータ ,  媒質 ,  MEMS ,  液体誘電体
準シソーラス用語： NEMS ,  機械システム ,  ナノフルイディクス ,  高誘電率 ,  電極ギャップ ,  印加電圧 ,  静電駆動 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (2件)： 曲げ ,  アクチュエータ