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J-GLOBAL ID：201702217728381659   整理番号：17A1421021

視射角蒸着によって成長させた単一シリコンナノ螺旋の引張挙動のその場観察【Powered by NICT】

In situ observation of tensile behavior in a single silicon nano-helix grown by glancing angle deposition

著者 (4件)： Sumigawa Takashi (Department of Mechanical Engineering and Science, Kyoto University, Kyoto-daigaku-katsura, Nishikyo-ku, Kyoto 615-8540, Japan) ,  Chen Shaoguang (Department of Mechanical Engineering and Science, Kyoto University, Kyoto-daigaku-katsura, Nishikyo-ku, Kyoto 615-8540, Japan) ,  Yukishita Tetsuya (Department of Mechanical Engineering and Science, Kyoto University, Kyoto-daigaku-katsura, Nishikyo-ku, Kyoto 615-8540, Japan) ,  Kitamura Takayuki (Department of Mechanical Engineering and Science, Kyoto University, Kyoto-daigaku-katsura, Nishikyo-ku, Kyoto 615-8540, Japan)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 636  ページ： 70-77  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非晶質シリコン螺旋ナノ要素(ナノヘリックス)の機械的性質,視射角蒸着(GLAD)法によって成長させたを調べるために,単一ナノヘリックスに及ぼす引張試験実験,原理証明に焦点を当てたを行った。三つの孤立したナノヘリックス,ナノプローブを用いた隣接ナノヘリックスの除去により同じGLAD層から調製し,上端は電子線硬化接着剤で負荷先端に付着していた。走査電子顕微鏡によるその場観察は単一ナノ螺旋は,螺旋形状による破壊(破壊変位の約40%)まで大きな長手方向弾性伸びを受けたことを明らかにした。変形の初期段階では,荷重-変位関係のジャンプ,ナノ螺旋の根元で結合脚の部分的破れによるものであった。ワイヤ直径は小さい張力は底部の塑性変形と破壊を誘導した。局所ゾーンで要素形状に基づく試験は,弾性段階における変形は要素形状により支配されることを示した。ナノ螺旋のための非晶質けい素の降伏応力は約0.8GPaと推定された。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *その場観察 ,  塑性変形 ,  形態 ,  アモルファスシリコン ,  荷重-変形関係 ,  接着剤 ,  降伏応力 ,  弾性 ,  金属線 ,  伸び ,  引張試験 ,  張力 ,  走査電子顕微鏡
準シソーラス用語： *引張り挙動 ,  *斜め蒸着 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： ナノhelix ,  引張試験 ,  視射角蒸着 ,  シリコン ,  非晶質 ,  その場観察 ,  走査電子顕微鏡

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 視射角蒸着 ,  成長 ,  シリコン ,  螺旋 ,  引張挙動 ,  その場観察