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J-GLOBAL ID：201702217875649753   整理番号：17A0222784

有機金属前駆体からの官能化自己集合単分子層上のRuの光化学CVD

Photochemical CVD of Ru on functionalized self-assembled monolayers from organometallic precursors

著者 (9件)： Johnson Kelsea R. (Department of Chemistry, University of Florida, Gainesville, Florida 32611-7200, USA) ,  Arevalo Rodriguez Paul (Department of Materials Science and Engineering, University of Texas at Dallas, 800 W. Campbell Rd, Richardson, Texas 75080, USA) ,  Brewer Christopher R. (Department of Chemistry, University of Florida, Gainesville, Florida 32611-7200, USA) ,  Brannaka Joseph A. (Department of Chemistry, University of Florida, Gainesville, Florida 32611-7200, USA) ,  Shi Zhiwei (Department of Materials Science and Engineering, University of Texas at Dallas, 800 W. Campbell Rd, Richardson, Texas 75080, USA) ,  Yang Jing (Department of Materials Science and Engineering, University of Texas at Dallas, 800 W. Campbell Rd, Richardson, Texas 75080, USA) ,  Salazar Bryan (Department of Chemistry and Biochemistry, University of Texas at Dallas, Richardson, Texas 75080, USA) ,  McElwee-White Lisa (Department of Chemistry, University of Florida, Gainesville, Florida 32611-7200, USA) ,  Walker Amy V. (Department of Materials Science and Engineering, University of Texas at Dallas, 800 W. Campbell Rd, Richardson, Texas 75080, USA)
資料名： Journal of Chemical Physics  (Journal of Chemical Physics)
巻： 146  号： 5  ページ： 052816-052816-9  発行年： 2017年02月07日 
JST資料番号： C0275A  ISSN： 0021-9606  CODEN： JCPSA6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 化学蒸着(CVD)は,選択性及び蒸着膜の厚さを容易に制御できるので,有機薄膜の金属化に対し魅力的技術である。しかしながら,熱CVDプロセスは,有機膜と一般的に相容れない高温をしばしば必要とする。本論文で,著者らは有機薄膜の金属化のため光化学CVDの概念実証研究を行った。この方法では,前駆体が,試料に吸着する前に熱的に不安定な中間体を生成するため光分解を受ける。蒸着での前駆体量子収量,リガンド化学及びRu酸化状態の役割を研究するため,3つの容易に入手可能なRu前駆体,CpRu(CO)₂Me,(η³-allyl)Ru(CO)₃Br及び(COT)Ru(CO)₃を用いた。蒸着に対する基板化学の役割を調査するため,カルボン酸-,ヒドロキシル-及びメチル-末端自己集合単分子層を用いた。データは,ルテニウム蒸着に対しリガンド損失の適度な量子収量(φ≧0.4)を必要とし,そして蒸着が波長に依存することを示した。第二に,シクロペンタジエニル及びアリルのようなアニオン性ポリハプトリガンドは,カルボニル,ハライド及びアルキルよりも除去することがより困難である。第三に,原子層蒸着とは対照的に,前駆体と基板間の酸塩基反応は,求核反応よりも蒸着により効果的である。最後に,データは,基板上に存在する前駆体及び官能基の賢明な選択により有機薄膜上で選択的な蒸着を達成できることを示唆した。従ってこれらの研究は,特に有機基板上の選択的光化学CVDのための新規前駆体の合理的設計のガイドラインを与えた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *光CVD ,  *単分子層 ,  自己集合 ,  有機材料 ,  メタライゼーション ,  二次イオン質量分析 ,  X線光電子分光法 ,  波長依存性 ,  有機ルテニウム化合物 ,  官能化 ,  量子収量 ,  前駆体 ,  配位子
準シソーラス用語： *自己集合単分子層 ,  有機薄膜 ,  表面官能化 ,  有機基板

分類 (1件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L)

タイトルに関連する用語 (7件)： 有機金属 ,  前駆体 ,  官能化 ,  自己集合単分子層 ,  Ru ,  光化学 ,  CVD