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J-GLOBAL ID:201702219664376703   整理番号:17A1646168

FinFET SCR:オンチップESD保護のための設計課題と新しいフィンSCRアプローチ【Powered by NICT】

FinFET SCR: Design challenges and novel fin SCR approaches for on-chip ESD protection
著者 (5件):
資料名:
巻: 2017  号: EOS/ESD  ページ: 1-6  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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初めて,TCADの助けを借りて平面等価フィンSCRデバイスにおける失われたSCR作用への物理的洞察を提示したが,これはフィンSCRの設計において影響を探索課題と基本的な障害を持っている。フィン技術における接触シリサイド化の重要な役割を発見した。新たな理解を工学従来の設計はSCR作用を再開することができた。最後に,新しいフィンSCR設計を明らかにした,これはデバイススケーラビリティに加えて面積効率の良い電流伝導を提供する。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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半導体集積回路 

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