Wu B.H. について
Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu, 610031, China について
Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu, 610031, China について
Jiang F. について
Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu, 610031, China について
Jiang F. について
State Key Laboratory of Physical Chemistry of Surfaces, Jiangyou, Sichuan, 621700, China について
Ma D.L. について
Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu, 610031, China について
Chen C.Z. について
Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu, 610031, China について
Chen C.Z. について
School of Mechanical Engineering, Jingchu University of Technology, Jingmen, 448000, China について
Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu, 610031, China について
Leng Y.X. について
Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu, 610031, China について
Huang N. について
Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu, 610031, China について
Vacuum について
メタライゼーション について
銅 について
電流 について
エレクトロマイグレーション について
イオン電流 について
集合組織 について
ケイ素 について
堆積速度 について
電気抵抗率 について
パルス について
引張応力 について
バイアス電圧 について
基板バイアス について
プラズマ特性 について
高出力 について
高出力パルスマグネトロンスパッタリング について
Cu膜 について
バイアス電圧 について
種の電流 について
高電気抵抗率 について
その他の無機化合物の薄膜 について
酸化物薄膜 について
高出力 について
パルス について
マグネトロンスパッタリング について
作製 について
Cu について
プラズマ特性 について
性質 について