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J-GLOBAL ID：201702219934369441   整理番号：17A0795752

誘電体電荷制御の下での容量性MEMSにおけるシグマデルタ効果と電荷同期【Powered by NICT】

$ΣΔ$ Effects and Charge Locking in Capacitive MEMS Under Dielectric Charge Control

著者 (6件)： Giounanlis Panagiotis (School of Electrical and Electronic Engineering, University College Dublin, Dublin 4, Ireland) ,  Gorreta Sergi (Micro and Nano Technologies Group, Universitat Polite`cnica de Catalunya, Barcelona, Spain) ,  Dominguez-Pumar Manuel (Micro and Nano Technologies Group, Universitat Polite`cnica de Catalunya, Barcelona, Spain) ,  Pons-Nin Joan (Micro and Nano Technologies Group, Universitat Polite`cnica de Catalunya, Barcelona, Spain) ,  Feely Orla (School of Electrical and Electronic Engineering, University College Dublin, Dublin 4, Ireland) ,  Blokhina Elena (School of Electrical and Electronic Engineering, University College Dublin, Dublin 4, Ireland)
資料名： IEEE Transactions on Circuits and Systems 2: Express Briefs  (IEEE Transactions on Circuits and Systems 2: Express Briefs)
巻： 64  号： 2  ページ： 206-210  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0347A  ISSN： 1549-7747  CODEN： ITCSFK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,解析的および実験的に,容量性マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)のための誘電体帯電の制御法としての一次シグマ-デルタ(ΣΔ)フィードバックループの使用により誘起される効果を研究した。この技術は作動電圧の極性を交互に連続的にMEMSデバイスの誘電体中の正味電荷の望ましいレベルの設定を可能にした。この制御システムは,電荷ロッキング現象が最も関連する,ΣΔ変調から継承され,通常のMEMS応用では見られない興味深い多くの効果を示した。収束時間と防除法の有効性も検討した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 電圧 ,  ΔΣ変調 ,  帯電 ,  極性 ,  *誘電体 ,  制御方式 ,  制御系 ,  *電荷 ,  *MEMS
準シソーラス用語： フィードバックループ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 信号理論  (ND02020G) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  変復調回路  (NC05050F) ,  集積回路一般  (NC03161C) ,  AD・DA変換回路  (NC05080M)

タイトルに関連する用語 (5件)： 誘電体 ,  電荷 ,  容量性 ,  MEMS ,  デルタ