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J-GLOBAL ID：201702220107982251   整理番号：17A1267790

マイクロパターン化Cuコイルを用いた薄膜に基づく柔軟な電流センサ【Powered by NICT】

Thin film based flexible current sensor using a micropatterned Cu coil

著者 (3件)： Yamashita Takahiro (Research Center for Ubiquitous MEMS and Micro Engineering, AIST, Ibaraki, Japan) ,  Maeda Ryutaro (Research Center for Ubiquitous MEMS and Micro Engineering, AIST, Ibaraki, Japan) ,  Itoh Toshihiro (Graduate School of Frontier Sciences, The University of Tokyo, Chiba, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： DTIP  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,無線センサネットワークのためのスルーホールとフレキシブルプリント回路(FPC)技術によって形成された250ターンマイクロパターン化Cuコイル(ライン/スペース=50μm/105μm)を持つ新しい薄膜に基づく柔軟なクランプオン型電流センサを報告した。フレキシブルエレクトロニクス技術を用いて,マイクロバイアおよび微細ストライプCuパターンは40mm開存と20-mm-幅ポリイミド膜の間にサンドイッチされた高精度での60mm長さ及び14.5mm幅のパーマロイ膜の周囲に形成されたことができた。センサは高い柔軟性を持っているので,ケーブルを巻線で使用される,設置スペースを大幅に低減できる。さらに,無線ノードは変流器の挙動によってセンサのコイルで発生した二次電流を利用して駆動できるので,外部電力供給なしに無線センサネットワークを構築することができる。接触パッド間のコイル抵抗は約241Ωであった。出力電圧(V”)は0~20の範囲で一次電流(Cp)の値の変化と共に直線的に変化した。Cp F」感度は約39.4mV/Åであった。FPC技術のみを用いて開発したので,このセンサはロール・ツー・ロールFPC大量生産施設により作製することができた。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 大量生産 ,  巻線 ,  電力供給 ,  *センサ ,  スルーホール ,  *薄膜 ,  柔軟性 ,  フレキシブル基板 ,  センサネットワーク ,  *電流センサ ,  *電流
準シソーラス用語： ロール・ツー・ロール方式 ,  ワイヤレス ,  フレキシブルエレクトロニクス ,  無線センサネットワーク ,  *マイクロパターン , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： マイクロ波・ミリ波通信  (ND08020W) ,  計算機網  (JC03000K)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロパターン ,  Cu ,  薄膜 ,  電流センサ